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电子工业用气体氩技术指标 GB/T 16945-1997
电子工业用气体氩技术指标 GB/T 16945-1997
装车输送机 项目 指标 氩纯度 ，10生产线-2 ，≥ 99.9992 绞龙输送机 氢含量 ，10不锈钢螺旋输送机-6 ，≤ 1微型螺旋喂料机 氮含量 ，10-小型碎石机6 ，≤ 5 氧含量 ，破碎机10直排筛-6 ，≤ 0.5 一氧化碳和二氧化碳含量振动筛粉机 ，10-冲击式破碎机6 ，≤ 0.5 总烃（以甲烷计）含TZD系列卧式振动电机量 ，10大倾角波形挡边输送机-6 ，≤ 电机振动0.5 水分含量 ，10移动带式输送机-6 ，≤ 0.5 颗粒 供需双方商波状挡边输送带定 试验方法： 1 氢和氮含量的测定：
1.1 方法：采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定氩中的氢和氮 。
1.2 检测限：氢0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3 仪器参数
1.3.1 色谱柱：将色谱分析用粒度为0.25～0.40mm的5A分子筛装入内径4mm ，长约3m的不锈钢管内 ，于300℃通氩气活化3h 。或采用等效色谱柱 。
1.3.2 载气：约30mL/min氦气 ，氦气中杂质含量比待测组分含量低一个数量级 。
1.3.3 样品体积：1.0～3.0mL 。
1.3.4 温度：检测器及柱加热箱均为室温 。
1.3.5 标样：含1～5×10-6(V/V)氢的氩 ，含5～25×10-6(V/V)氮的氩 。
1.4 操作步骤
1.4.1 用气体进样阀进标样 。
1.4.2 用同样方法进待测样品 。
1.4.3 重复上述两条 ，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果 ，单个值与平均值的相对偏差不得大于10% 。
1.4.4 比较标样峰和试样峰的平均面积 ，用下式分别计算氢和氮的含量 ，其结果不得超过本标准的上表规定值 。
φi=(φs-Ai)/As
式中：φi－－样品气中的待测组分i的含量 ，10-6(V/V)；
φs－－标准气中的组分i的含量 ，10-6(V/V)；
Ai－－样品气组分i的峰面积 ，mm2(V/V)；
As－－标样气组分i的峰面积 ，mm2(V/V)；
当半峰宽不变时可用峰高定量 。 2 氧含量的测定
按GB/T6285执行 。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V) 。
标样：氩中含氧1×10-6～5×10-6(V/V) 。 3 一氧化碳和二氧化碳含量的测定
按GB/T8984.1执行 。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V) 。
标样：氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V) 。 4 总烃（以甲烷计）含量的测定
按GB/T8984.3执行 。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V) 。
标样：氩中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V) 。 5 水分含量的测定
按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行 ，两种方法具有同等效力 。
仪器检测限：0.2×10-6(V/V) ，经相应检定规程检定合格 。 （源自：中国流体机械网）
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